Введение
Нанесение просветляющих покрытий на оптические лазерные элементы граната (YAG) позволяет существенно повысить его эксплуатационные характеристики. Так, нанесение в вакууме на торцы кристаллов YAG просветляющих покрытий позволяет увеличить степень пропускание квантов через элемент. Данный эффект достигается благодаря уменьшению потерь на естественное Френелевское отражение, которое всегда присутствующее на границах сред с разными показателями преломления.
ПРОБЛЕМА ИЛИ ЗАДАЧА
Стояла задача модернизировать и автоматизировать действующую установку типа УРМ3.279.01. Установка предназначена для термического и электронно-лучевого испарения вакууме с оптическим контролем толщины пленок в процессе напыления просветляющих покрытий
РЕШЕНИЕ
Установка УРМ3.279.01 является комплексным устройством и состоит из следующих основных блоков: блок управления вакуумной системой и сама вакуумная система, блок оптического контроля толщины + система контроля, блок управления резистивными испарителями + система испарения , блок управления электронно-лучевым испарителем + система ЭЛИ , блок управления подложками + система управления подложками, высоковольтный блок , блок питания катода + система катода. Для каждого из этих узлов были разработаны аппаратные решения и программное обеспечения. Централизованное автоматизированное управление всеми узлами осуществлялось промышленным контролером WinCON W-8331 и модулями сбора данных компании серии I-8000 компании ICP DAS. Программное обеспечение для контроллера было разработано на языке Embedded Visual C++.Результатом работы стал комплекс для многостадийного нанесения просветляющих покрытии в вакууме под управлением современной системы автоматизации.
ЗАКАЗЧИК
скрыто
ГОД ПРОЕКТА
2010